Anneau en titane sablé

Dans la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs (cavités PVD/CVD), les équipements de revêtement sous vide poussé-et les réacteurs chimiques fins à haute-barrière, les brides ou bagues d'étanchéité ordinaires en acier inoxydable sont souvent en surpoids, présentent une inadéquation thermique sous des alternances de haute et basse température, ou la réflexion de surface provoque des interférences optiques ou plasmatiques et ne peut pas être utilisée. Dans le même temps, l’intérieur de la chambre à vide est soumis à des exigences presque strictes en matière de taux de dégazage et de surface microscopique du matériau.

Avec une sélection stricte de pièces forgées ASTM B381 (pièces forgées) 100 % de haute qualité et de haute pureté comme ébauche, nous avons lancé une haute performance, finition sablée, des anneaux en titane d'usinage CNC de précision avec finition sablée. Après un tournage de haute-précision, un perçage indexé et un usinage de trous lamés par un centre d'usinage CNC multi-axes, un processus de sablage mat à l'échelle du micron- (sablage mat) avec une grande uniformité est introduit à la surface. Ce produit élimine non seulement complètement les contraintes d'usinage et la réflexion de la surface, mais améliore également considérablement l'adhérence du revêtement et le taux de production de gaz sous vide tout en garantissant une résistance extrêmement élevée. Il s'agit d'un composant de serrage et d'étanchéité pour les systèmes de semi-conducteurs et de fluides sous vide poussé de pointe au monde.

I. Excellents avantages de base (Elite Engineering Advantages)

Forgeage libre intégral et optimisation de la rationalisation du grain (intégrité forgée et alignement dynamique) : nous n'utiliserons jamais de plaques ordinaires pour couper l'anneau directement, et toutes les ébauches d'anneaux en titane adopteront un forgeage libre à trois voies (processus de forgeage). Grâce à un contrôle strict du taux de forgeage, les grains tels que coulés sont complètement brisés et les lignes de fibres métalliques (flux de grains) dans le matériau en titane sont uniformément réparties dans la direction circonférentielle. Cela garantit que l'anneau en titane ne subira jamais de micro-fluage ou de fendage anisotrope lorsqu'il est soumis à un couple de serrage de boulon à haute-pression.

Sablage uniforme à l'échelle du micron-et dégazage sous vide ultra-faible (sablage mat et faible dégazage) : la surface de l'anneau en titane après traitement subit un traitement de modification de grenaillage/sablage dense (du corindon blanc ou du sable de verre de haute qualité-est sélectionné). Cela donne non seulement au produit une texture grise argentée mate non réfléchissante haut de gamme - (finition mate anti-), élimine les impasses visuelles, mais élimine également efficacement les bavures géométriques microscopiques. Plus important encore, cela modifie l’état de contrainte résiduelle de la couche superficielle et augmente considérablement les taux d’adsorption et de dégazage des gaz sous vide poussé (UHV).

Le perçage CNC de précision est parfaitement aligné avec le lamage poreux (perçage et contre-alésage CNC de précision) : comme le montre la figure, il existe plusieurs ensembles de trous traversants également divisés et de trous de lamage étagés (trous de lamage) fraisés avec précision par le centre d'usinage CNC sur la surface du produit. L'entraxe des trous et la tolérance de coaxialité sont contrôlés avec précision à ± 0. 02 mm, ce qui permet d'obtenir un assemblage non destructif parfait à dégagement nul-avec-avec une bride haute pression-et un système de fixation de retenue aux normes européennes et américaines ASME/DIN.